探針臺如何工作？探針臺可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針前列放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設置在正確的位置，就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程，提高了探針臺生產率。探針臺與顯示器一體化設計。浙江MOS管探針臺

探針測試臺x-y工作臺滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業的儀器儀表調整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態，所以對需要調整的工作臺應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。CV測試探針臺推薦廠家電路板各通道及載體高頻高速測試。

低溫探針臺是用來無損檢測樣品的電性能，用于半導體、微電子、固體物理、超導等研究冷域，是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩定、可靠、方便的改變在很低的真空和溫度下對器件和電路的探測。內置振動隔離，智能熱管理，使用低排放的材料，先進的密封性，使該系統非常適合一系列需要更好的真空水平的應用，如石墨烯的研究，分子電子學等的，系統采用閉式循環制冷機和專有的熱管理，可以經濟快速的操作。內置的隔振小化振動符合行業標準。超穩定的微操縱滿足設備探針的準確和可重復的接觸。低溫探針臺集成系統有以下特點：1、在真空探針臺下進行完整的霍爾效應測試的系統。2、支持一系列直流條件下霍爾效應測試。3、變溫范圍10k-400k，采用閉循環制冷機制冷，不需要消耗制冷劑。4、包含8400軟件，可以做簡單的系統操作、數據采集和分析。5、支持多載流子分析數據導出。

探針臺操作步驟：1.將測試產品放入探針臺的臺盤上;2.打開顯微鏡光源燈（LED或光源機）;3.打開背光面板光源開關;4.調整Zaxis高度對焦，使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰;二.點針操作步驟：1.通過移動鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調整針座位置，將三軸歸零;3.調整針座仰角機構，使針尖位于顯微鏡射出光斑上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖，將針尖移至視野位置并通過調整焦距使針尖達到清晰;6.切換至高倍鏡頭，找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調下針;8.量測完畢后，逆時針旋轉鈕針座的仰角機構的旋鈕取出快速將針往上抬起，針尖即可移開針Sample;移動座平臺或者顯微鏡相關移動機構時，請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞9.移開針座，取出背光面板光源和光源燈等電源.晶圓級測試自動探針臺。

探針臺的探針的清洗，1、毛刷清潔法：適用范圍為5微米以上探針，微波探針。不適用于針尖直徑在5微米以下的軟針。清洗方法是拿一張A4白紙，撕成細長條的形狀，撕成細長的三角形形狀(大概5cm高左右)。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡視顯微鏡即可，放大倍數太高無法操作)，利用撕下的紙片作為毛刷，輕輕地將探針沾污物刷下。2、壓針清潔法：適用范圍是所有探針，灰塵比較靠近探針的情況。清洗方法是拿一張A4白紙，裁成樣品臺大小(或適當的尺寸)，固定于樣品臺上。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡下，慢慢下壓探針，待探針接觸到白紙后，向后移動探針。多嘗試幾次走到探針上的灰塵脫落。3、超聲清潔法：適用范圍是所有探針，清洗方法是取適量的蒸餾水置于燒杯內(燒杯大小以適合用戶操作為宜)，并放到超聲波清洗機內。打開超聲波清洗機，然后手捏住探針(注意戴丁腈手套)，將針尖放入蒸餾水內，讓震動把灰塵震落，可以隔一兩分鐘用顯微鏡觀察一次，直到灰塵掉落為止。將探針放到適當的位置晾干后即可使用。請注意，若清潔微波探針，須將探針放置整晚晾干。探針臺是檢測半導體芯片的電參數、光參數的關鍵設備。浙江非標探針臺

按照操作方式來劃分成：手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。浙江MOS管探針臺

手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。6.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。浙江MOS管探針臺

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